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中国半带体疼之根源——荷兰EUV极紫外面线光雕

作者:locoy 来源:原创 浏览: 【 】 发布时间:2019-05-31 评论数:

  光雕刻机,EUV,人类科技的尖端设备,半带体行业最末兵器。

  

  活界上,能消费光雕刻机的国度不多,当前,光雕刻机范畴的龙头父老亲是荷兰ASML,美国、日本固然也能消费光雕刻机,但邑是荷兰任命权的技术,且相当壹派断还是从荷兰原装出口产的,譬如日本的尼康,也能消费光雕刻机,条是同典型产品即苦特价而沽价条要ASML光雕刻机的壹半,也鲜拥有人讯问津,无济于事。ASML度过去五年的股价,已上涨了249%。让此雕刻家业界之外面籍籍默默无闻的专业设备厂,成为但次于皇家外壳以及结合利华的荷兰市值第叁父亲公司。

  

  此雕刻坚硬是ASML特价而沽价超越1亿美金,世界最上进的光雕刻机:EUV NXE 3350B(EUV极紫外面线光雕刻机),号称半带体业的最末兵器,台积电、英特尔邑寄望,此雕刻台史上最昂贵的「器机」,会在2017岁末了尾试产的七奈米制程父亲发神物威,成为主力机种。

  

  度过去什积年,全球最上进的微影机,邑采取波长壹九叁奈米的深紫外面光,条是英特尔、台积电量产的最上进电晶体,父亲小已肥父亲到但胸中拥有数什个奈米。此雕刻形同用相畅通顶笔,要写的字却越到来越小,最末笔尖比要写的字还粗的苦境。

  要接顺手的「超细字笔」,技术源己美国雷根时代「星战方案」,波长但拥有什叁奈米的EUV;依照该技术的首要铰进者英特尔规划,2005年就该上阵,量产时程却壹延又延。

  鉴于此雕刻个技术真实太难了。EUV光线的能量、破开变质性极高,制程的所拥有洞件、材料,样样应敌人类工艺的极限。比如,鉴于空气分儿子会烦扰EUV光线,消费经过得在真空环境。同时,机械的举止得正确到误差但以皮秒(兆分之壹秒)计。

  最关键洞件之壹,由道德国蔡司消费的反照镜得做到史无前例的完备无瑕,瑕疵父亲小但能以皮米(奈米的仟分之壹)计。

  此雕刻是什么概念?ASML尽裁剪暨实行长温彼得(Peter Wennink)接受《天下》独家专访时说皓,假设反照镜面积拥有整顿个道德国父亲,最高的突宗处不能高于壹公分高。

  荷兰ASML牛到什么境地?他曾经占据了高臻80%的市场份额,据了高端光雕刻机市场,同时世界首要芯片创造商英特尔,叁星和台积电邑是ASML的股东方,它们用到来加以工14/16nm芯片的光雕刻机邑是买进己ASML,而格罗方道德、联电以及中芯国际等晶圆厂的光雕刻机首要亦到来己ASML,ASML却谓独步天下,独孤寻求败。而在我国国际,晶圆厂所需的高端光雕刻机完整顿依顶赖出口产。